MIDAC製　FT-IRガス分析装置製品ラインナップ

[計測可能なガス]

PFCガス、HClガス、HFガス、NOx、SOx　等

 

[計測不可なガス]

酸素・フッ素・水素　等

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産業用FT-IRガス分析計製品
I-4000シリーズ

MIDAC I-4000シリーズ

［用途］

  • FT-IRによる半導体および液晶・製造装置のクリーニング・エッチングプロセスを評価
  • FT-IRによるPFCガス除害装置の除害効率の評価

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I-1800シリーズ

MIDAC I-1800シリーズ

［用途］

  • FT-IRによる製品ガス中の不純物分析
  • FT-IRによる低濃度のVOCガス・PFCガス測定および漏えい監視

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Vシリーズ

MIDAC Vシリーズ

［用途］

  • FT-IRで製品ガス中のH2OやHF等を 分析

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連続ガス分析用
FABモニタリングシステム

MIDAC FABモニタリングシステム

［用途］

  • FT-IRガス分析による工場の有害物質
  • 漏洩監視

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TITANオンラインモニタリング

MIDAC TITANオンラインモニタリング

［用途］

  • FT-IR連続稼動による製品ガスの品質検査
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TITANオンラインモニタリング
Titan.pdf
PDFファイル 828.6 KB
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バルブコントロールモジュール

MIDAC TITANオンラインモニタリング

［用途］

  • FT-IR制御ソフトによるバルブの自動切替で複数ラインをモニター

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オープンパスFT-IRガス分析
エアモニタリングシステム

MIDAC エアモニタリングシステム

［用途］

  • FT-IRによる火山の噴煙分析
  • FT-IRによる工場の排煙調査

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ラボ用FT-IRガス分析
Mシリーズ

MIDAC Mシリーズ

［用途］

  • 大学・研究機関等でFT-IRを固体・液体・ガス分析に使用したいユーザー様向け

※オプションでATRやPASアクセサリも着脱可能


ILLUMINATOR

MIDAC ILLUMINATOR

［用途］

  • 自社のニーズにあったFT-IR分析計をカスタムで設計したいユーザー様向け
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ILLUMINATOR
illuminator.pdf
PDFファイル 508.0 KB
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FT-IRのガス分析例
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液晶・半導体工場におけるFT-IRガス分析によるPFC排出量管理
PFC_MonitoringbyFTIRinLCD_industry.pdf
PDFファイル 859.0 KB
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FT-IR分析装置による工場漏洩物質モニタリングシステム
fabmonitoring.pdf
PDFファイル 856.7 KB
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オープンパスFT-IRを使った大気測定
Air_Monitoring_System.pdf
PDFファイル 218.0 KB
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FT-IRを使った触媒分解設備の連続排気分析 ※PPスライド。クリックするとスライドが進みます。

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FT-IRによるオンライン水分分析
Vseriesonline.pdf
PDFファイル 1.7 MB
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FT-IRによるオンライン大気分析
（英文）
photosummary_lock.pdf
PDFファイル 317.9 KB
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FT-IRによるタバコ排煙分析

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FT-IRによる焼却炉排煙分析の有効性
（英文）
Ap-157.pdf
PDFファイル 178.8 KB
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3インチオープンパスFT-IRガス分析システム
AirMonitoringSystemPresentation.pdf
PDFファイル 2.8 MB
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FT-IRガス分析に関する背景知識

（1）FT-IRとは

（1）FT-IRとは（英訳ページ）




（4）ランベルト・ベールの法則と吸光度スペクトル

（5）セルの測定検出濃度上限値・下限値

（6）他成分の干渉

（7）FT-IRの測定可能波数域

（8）FT-IR測定の定量方法