FT-IRガス分析装置 Fab モニタリングシステム
MIDAC FABモニタリングシステムは正確かつ信頼度の高い作業環境内ガス漏洩システムです。工場各所のサンプリングポイントから、リレーの組み合わせにより複数のガス(PFCガス・VOCガス・毒性ガス)をリアルタイムかつTLV以下の微量濃度まで検出します。
MIDAC FT-IRによるFABモニタリングシステム
FT-IR分光計を使っていますので検知管方式のように、エリア・ガス種ごとに装置を設置する必要がなく、レーザー・IR光源等の消耗品の交換および検出器の冷却ガス補充作業だけなのでメンテナンスも少ない人数で容易に行えます。 警報設定や外部出力(TCP/IPや4-20mA)等自由に設定できます。複数の除害装置のモニタ装置としても利用できます。
詳細は、以下のPDFをご参照ください。
「FT-IRを使った液晶・半導体工場における PFC排出量管理」
「FABモニタリングシステム」
FT-IRガス分析に関する背景知識 コラム
（6）他成分の干渉
（8）FT-IR測定の定量方法