FT-IRガス分析装置やポータブル蛍光X線分析装置のレンタルを承ります。
以下はレンタルの実例です。
FT-IRガス分析計によるPFCガスの評価
FT-IR(フーリエ変換赤外分光法)ガス分析とは赤外線の吸収を利用してガスを分析する方法ですが、半導体業界ではFT-IRを使ってCVDおよびエッチャーからの混合成分排気を一回でリアルタイムに測定する例があります。 CVDおよびエッチャーの真空ポンプ後段の配管からガスを抽出してガスセルにフローさせCVD・エッチャーの反応プロセスの終点検出に用いたり、除害装置の前後段のガスをモニターして除害効率を測定したりするのが目的です。
特に半導体業界ではインテルプロトコルおよびエプソンメソッドに準拠してPFCガスの除害効率を測定するという業界の自主基準が設けられています。
しかし、生産に関わる投資ではないためこうしたガス分析計に対しては積極的に投資しにくい傾向にあるのも事実です。 そこで私たちは装置のレンタルおよび測定サービスをご提案しております。PFCガス評価以外にも評価機をご用意しておりますのでお気軽にお問い合わせ下さい。
蛍光X線分析装置による土壌中の鉛の分析
建設予定現場の土壌中の鉛含有量測定やボウリングしたポール中の重金属の分析が手軽に行えます。
建設業界では蛍光X線を使っての現地分析が推奨される流れとなっています。
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デモ機情報
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MIDAC I4000 FTIRガス分析計
MIDAC I1800 FTIRガス分析計
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RoHS・合金分析・膜厚分析用EDX 1800B
携帯型蛍光エックス線分析装置
Genius XRF
デモ機が出払っている場合はスケジュール調整させていただく場合がございます。予めご了承ください。
弊社サービスセンターでFT-IRガス分析計や蛍光エックス線分析装置をご覧いただけます。
また、FT-IRや蛍光エックス線分析装置についての基礎知識のご説明も致しております。
企業の方、学生の方いずれも歓迎です。
装置の準備の都合上、予約制とさせて頂いております。事前にお問い合わせください。
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